• 高清成像，精準(zhǔn)捕捉微納細(xì)節(jié)

專為半導(dǎo)體失效分析與材料表征設(shè)計(jì)，低電壓模式下可清晰捕捉芯片微納結(jié)構(gòu)，有效減少荷電效應(yīng)和輻照損傷，讓缺陷與界面信息無所遁形。

• 大樣兼容，適配多元分析需求

配備快速換樣倉，可支持4寸晶圓（直徑100mm），滿足客戶對(duì)更大尺寸樣品的分析需求，適配晶圓、元器件等多樣品形態(tài)檢測(cè)。

• SEM-4000X核心參數(shù)

實(shí)驗(yàn)室已完成“效率+精度"雙重升級(jí)，將以更高效的制樣流程、更精準(zhǔn)的微納分析能力，為半導(dǎo)體、新能源、先進(jìn)制造等行業(yè)提供可靠檢測(cè)支撐。

未來，CTI華測(cè)檢測(cè)半導(dǎo)體檢測(cè)及分析中心合肥FA實(shí)驗(yàn)室將持續(xù)深耕技術(shù)、優(yōu)化服務(wù)，以硬核實(shí)力助力客戶定位問題、優(yōu)化產(chǎn)品性能，攜手行業(yè)伙伴探索半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)更多可能。